रैपिड एनीलिंग भट्ठी उन्नत माइक्रो कंप्यूटर नियंत्रण प्रणाली और पीआईडी बंद लूप तापमान नियंत्रण को अपनाती है, जो उच्च तापमान नियंत्रण सटीकता और तापमान एकरूपता प्राप्त कर सकती है, और उपयोगकर्ता प्रक्रिया आवश्यकताओं के अनुसार वैक्यूम चैम्बर या मल्टी-चैनल गैस से सुसज्जित हो सकती है।
तीव्र तापानुशीतन भट्ठी, ऊष्मा स्रोत के रूप में हलोजन इन्फ्रारेड लैंप का उपयोग करती है, जिससे वेफर्स या सामग्रियों को तीव्र तापन दर के माध्यम से 300 डिग्री -1200 डिग्री तक गर्म किया जाता है, जिससे वेफर्स या सामग्रियों के कुछ दोष समाप्त हो जाते हैं और उत्पाद का प्रदर्शन बेहतर हो जाता है।
फास्ट एनीलिंग फर्नेस (चिप हीट ट्रीटमेंट उपकरण) का व्यापक रूप से आईसी वेफर्स, एलईडी वेफर्स, एमईएमएस, मिश्रित अर्धचालक, बिजली उपकरणों और अन्य चिप उत्पादों के उत्पादन में उपयोग किया जाता है, साथ ही ओमिक संपर्क रैपिड मिश्र धातु, आयन प्रत्यारोपण एनीलिंग, ऑक्साइड वृद्धि, घनत्व में तनाव से राहत, घनत्व और अन्य प्रक्रियाओं में भी उपयोग किया जाता है। उच्च तकनीकी सूचकांक, जटिल प्रक्रिया और मजबूत विशिष्टता के साथ, क्रिस्टल संरचना और फोटोइलेक्ट्रिक गुणों को बेहतर बनाने के लिए रैपिड हीट ट्रीटमेंट का उपयोग किया जाता है।
रैपिड एनीलिंग फर्नेस हार्डवेयर प्रतिस्थापन
1, हीटिंग लैंप प्रतिस्थापन: हीटिंग लैंप सेवा जीवन से अधिक है या उज्ज्वल नहीं है प्रतिस्थापित करने की आवश्यकता है। हीट लैंप का सेवा जीवन 3000 घंटे है, और उच्च तापमान पर इसकी सेवा जीवन कम हो जाएगा।
2, वैक्यूम पंप तेल प्रतिस्थापन: उपयोग के दौरान, कृपया एक चौथाई बार वैक्यूम तेल गेज का निरीक्षण करें। जब तेल गेज दिखाता है कि तेल का स्तर 1/3 से कम है, तो कृपया तेल गेज के आधे से अधिक हिस्से में वैक्यूम पंप तेल जोड़ें।
3, थर्मोकपल प्रतिस्थापन: जब तापमान असामान्य या क्षतिग्रस्त होता है, तो थर्मोकपल को प्रतिस्थापित करने की आवश्यकता होती है। थर्मोकपल का सामान्य सेवा जीवन 3 महीने है, और इसका सेवा जीवन पर्यावरणीय कारकों से छोटा हो जाता है।
4. ओ-रिंग को बदलें: जब ओ-रिंग की सतह स्पष्ट रूप से क्षतिग्रस्त हो या उसे सील नहीं किया जा सकता है, तो ओ-रिंग को बदलने की आवश्यकता होती है। इसका सेवा जीवन बाहरी बल और तापमान कारकों से प्रभावित होता है।